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 全視場外差白光干涉測量技術

汝洪武 吳玲玲 張文喜 李楊

[摘要]為了解決傳統白光干涉測量技術中對線性位移機構的位移精度要求過高的問題, 本文提出了一種全視場外差白光干涉測量技術。該技術主要通過使用存在差頻的白光干涉信號作為光源來實現在大掃描步長和低掃描精度條件下相干...

 PDF全文光電工程 | 2020, 47(02):190617

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